確認する候補
見分けるポイント
- 粒子
- 金属汚染
- 到達圧力
- 温度
- 薬品
採用前チェック
- 閉じ込め容積を減らす
- 指定の洗浄・梱包を守る
- 処理薬品との材料適合性を確認する
- 保守時の工具・部品管理を設計する
設計判断ではありません
最新規格、図面、実物、使用条件、部品・工具メーカー資料を確認し、安全上重要な用途は有資格者が判断してください。
衛生・清浄
半導体製造装置の真空側締結を設計する
粒子、金属汚染、放出ガス、薬品、熱サイクルを同時に管理します。
衛生・清浄
粒子、金属汚染、放出ガス、薬品、熱サイクルを同時に管理します。
最新規格、図面、実物、使用条件、部品・工具メーカー資料を確認し、安全上重要な用途は有資格者が判断してください。