確認する候補
見分けるポイント
- 到達圧力
- 許容漏れ率
- 放出ガス
- ベーク温度
- 清浄度
採用前チェック
- 圧力差とシール方式を確認する
- ねじ穴の仮想漏れ経路を減らす
- 潤滑剤と表面処理の真空適合性を確認する
- 漏れ試験方法を定める
注意
真空密封はねじ山そのものではなく、適合するフランジ・シール方式で設計してください。
設計判断ではありません
最新規格、図面、実物、使用条件、部品・工具メーカー資料を確認し、安全上重要な用途は有資格者が判断してください。
温度・真空
高真空装置の締結部を設計する
漏れ、放出ガス、清浄度、シール荷重、分解整備から締結方式を選びます。